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祝贺！中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司荣获“河北省技术发明二等奖”
近日，2024年度河北省科学技术奖励大会在石家庄召开，中船集团七一八所旗下中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司（以下简称“公司”）“集成电路用高纯卤化氢气体制备关键共性技术研究及产业化”项目荣获河北省技术发明奖二等奖。
在集成电路制造中，高纯电子气体是仅次于硅片的第二大原材料，被称为芯片制造的“血液”。作为电子气体的重要成员，高纯卤化氢气体是芯片制造过程中不可或缺的干式清洗及精准蚀刻用气体，对刻蚀的精准性和芯片良率起决定性作用。
公司自2013年起致力实现高纯卤化氢电子气体制备技术的自主创新，历经近10年攻关，成功攻克了制备、纯化和分析检测等环节的技术难题并形成了高纯卤化氢电子气体制备的集成技术。
此次荣获河北省技术发明奖二等奖，不仅是对该项目技术成果的高度认可，也是对公司长期以来致力于科技创新的肯定。公司将以此为契机，进一步加大科技创新投入，以科技创新赋能公司高质量发展，为推动电子特气领域科技进步作出更大贡献。
来源：中船派瑞特气公司
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